空气净化是电子净化车间建设的核心，其技术水平直接决定了车间的洁净等级。目前，高效过滤器（HEPA）和超高效过滤器（ULPA）是实现空气净化的主要设备。HEPA 能够过滤掉 0.3 微米以上的颗粒，过滤效率高达 99.97%，而 ULPA 对 0.12 微米的颗粒过滤效率超过 99.999%。
在实际应用中，空气净化系统采用多级过滤方式。新风首先经过初效过滤器，拦截较大的灰尘颗粒、昆虫等；接着进入中效过滤器，进一步过滤较小的尘埃；最后通过高效或超高效过滤器，将空气中的微小颗粒降至最低。此外，合理的气流组织形式也是关键，常见的有垂直层流和水平层流。垂直层流气流自上而下均匀流动，可迅速带走污染物；水平层流气流从一侧向另一侧流动，适用于对洁净度要求稍低的区域。二者通过科学布局，可有效减少室内涡流和死角，确保空气洁净度达标。
电子元器件对环境温湿度极为敏感，微小的温湿度波动都可能影响产品性能。一般来说，电子净化车间的温度需控制在 22±2℃，相对湿度保持在 45% - 65%。
为实现精准的温湿度控制，需采用先进的温湿度控制系统。该系统由温湿度传感器、控制器和执行机构组成。温湿度传感器实时监测车间内的温湿度数据，并将信息反馈给控制器；控制器根据预设参数，自动调节空调机组的制冷、制热、加湿和除湿功能。例如，当湿度偏低时，系统启动加湿装置；温度过高时，加大制冷量，确保车间温湿度始终处于稳定状态。同时，考虑到电子设备运行会产生大量热量，还需配备合理的通风散热系统，维持车间内的热平衡。
电子净化车间要求具备良好的密闭性，以防止外界污染物的侵入。建筑围护结构的设计与施工至关重要，墙体和顶棚通常采用夹心彩钢板，这种材料不仅具有良好的保温、隔热性能，还能有效防止灰尘吸附和细菌滋生。彩钢板之间的拼接采用企口式连接，并使用密封胶进行密封处理，确保接缝处无泄漏。
地面则多选用环氧树脂自流平地坪或 PVC 地板。环氧树脂自流平地坪具有耐磨、耐腐蚀、易清洁等特点，且表面平整光滑，不易积尘；PVC 地板质地柔软，防静电性能良好，能有效避免因静电产生的灰尘吸附和电子元器件损坏。此外，车间的门窗需采用气密型设计，安装密封条，并确保关闭后无缝隙，进一步增强车间的密闭性。
在车间内，所有设备、工具和操作人员都需采取防静电措施。设备和工作台面采用防静电材料，并通过接地线将静电导入大地；操作人员需穿戴防静电工作服、手套和鞋套，避免人体静电对元器件造成损害。此外，还可在车间内安装离子风机，通过产生正负离子中和空气中的静电，将车间内的静电电压控制在安全范围内。同时，对车间内的湿度进行合理控制，较高的湿度可降低静电产生的概率，也是防静电的有效手段之一。
随着科技的发展，智能化监控与管理技术在电子净化车间建设中得到广泛应用。通过安装各类传感器和监控设备，可实时监测车间内的空气洁净度、温湿度、压力、风速等参数，并将数据传输至中央控制系统。管理人员可通过计算机或移动终端远程查看车间运行状态，一旦出现异常，系统将自动报警并采取相应的调节措施。
